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产品简介
HL-T1200-PGEP 是一种多功能超声波喷涂炉系统，专为纳米材料的合成而设计。 三个主要子系统（超声波增强气溶胶发生器、管式炉和静电除尘器）用于三个过程，包括气溶胶产生、热分解和纳米粒子收集。 这样的系统实现了合成方法，可以控制粒度、形态和纳米/微观结构。
性能特点
- 超声雾化精细送料
- 薄膜均匀性优良
- 研发适配性强
- 工艺能耗温和
雾滴粒径细小均匀，前驱体输送稳定，不易堵塞管路。
雾化液滴分散性好，成膜薄而致密，涂层一致性高。
基于微处理器的控制允许用户程序操作参数（时间和粒子产生的速率）进入单元，处理各种应用以实现准确的粒子生成。
相比传统 CVD，前驱体利用率更高，原料损耗更低。
技术参数
| 超声波喷涂炉系统 | ||
| 第一部分 管式炉 | ||
| 炉体结构 | - 带风冷的双层钢结构。 - 分体式门设计，便于安装管子。 - 高纯度 Al2O3 纤维绝缘材料，旨在有效地节省能源。 |
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| 炉管（水平的） | 高纯石英管 管径：OD30mm 加热区长度：双300+300mm （更多尺寸可根据客户需求定制） |
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| 密封 | 真空法兰 | |
| 炉管 （垂直的） |
高纯石英管 管径：OD30mm 加热区长度：双300+300mm - 采用强制对流设计的熔块可以将颗粒捕获在中央加热区域内 玻璃料：15~40 微米多孔，22mm O.D x 4mm 厚 （更多尺寸可根据客户需求定制） |
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| 工作温度 | 1100℃ | |
| 最高温度 | 1200℃ | |
| 温度控制 | -两个独立的温度控制器。 -30 个可编程段，用于准确控制加热速率、冷却速率和停留时间。 - 内置 PID 自动调谐功能，具有过热和热电偶损坏保护。 - 过温保护和警报允许在无人值守的情况下进行操作。 - +/- 1 ºC 温度精度。 |
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| 升温速率 | 0~10℃/min | |
| 加热元件 | 电阻丝 | |
| 热电偶 | N 型 | |
| 工作方式 | 水平和垂直 | |
| 第二部分超声波增强发生器 | ||
| 系统特点 | 2.4MHz 超声波增强型发生器 带有氟聚合物密封的氟聚合物涂层液体容器 基于微处理器的控制允许用户程序操作参数（时间和粒子产生的速率）进入单元，处理各种应用以实现准确的粒子生成。 含氟聚合物光学传感器和含氟聚合物阀门，用于在设备干转时将液位保持在正确的高度并防止损坏雾化元件。 使用快速夹具可以轻松拆卸组件以进行清洁或通过简单的气体供应连接来调整设备 |
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| 超声波功率设置 | 0 到 100% 的全部输出能力，以 5% 为增量 | |
| 第三部分纳米粉收集 | ||
| 静电除尘器 | 高达 30 kV 和 1 mA。 使用KF25可以快速连接到炉处理管； |
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| 第四部分质量流量计系统 | ||
| 质量流量计 （触摸屏是可选的） |
三台精密质量流量计： 一个气体混合罐安装在底壳上，带有液体释放阀 底壳左侧安装3个不锈钢针阀，手动控制3种气体混合。 |
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| 第五部分液体汽化系统 | ||
| 加热器和温度控制器 | 液体和载气通过一个 SS316 盘管，该盘管由内置小炉加热至 550ºC 加热管可以作为二次加热产生，以防止液体或气体在通过管时冷却。 |
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| 气体流量控制 | 载气（惰性气体）由精密浮子流量计控制。 前面板内置压力表 安装了两个 SS 针阀来控制气体的进出。 |
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| 第六部分真空泵系统 | ||
| 旋片真空泵 | 极限真空度：10Pa | |
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
