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产品简介
多温区滑道 CVD 管式炉为气相沉积工艺定制开发，炉体配置滑道导轨结构，料架可沿导轨左右滑移，让工件快速进出温区，高效实现物料快热、快冷，缩短工艺周期，避免样品在降温阶段受到气氛持续影响。设备支持多路气源同步接入，搭载触屏式质量流量控制系统，可独立、精准调控各路气体流量，配比稳定可控。各温区独立控温，能够构建梯度温场，适配不同沉积反应需求。广泛应用于高校、科研院所及生产企业，用于薄膜制备、材料改性等各类气相沉积相关实验研发与小批量生产。
性能特点
- 滑道快速移料
- 温场均匀
- 多路气氛可控
- 工艺稳定性强
导轨滑移结构，样品快速进出高温区，实现快热快冷，工艺切换灵活。
炉膛内部设计有对流栅格，炉体内部气流容易形成上下对流循环，有利于炉温平衡，温场均匀
可接入多种工艺气源，一体化触屏操控界面，参数设置、流量监测、程序编辑集中管理，精准调节流量，气体配比重复性好。
温场均匀，气体输送稳定，沉积薄膜一致性佳，实验可复现性高。
技术参数
| 产品名称 | 多温区滑道式CVD |
| 型号 | HL-TCVD1200-S |
| 多温区滑道管式炉部分 | |
| 炉膛模式 | 开启式 |
| 炉体滑动 | 可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热 |
| 炉膛材料 | 氧化铝耐火纤维 |
| 加热元件 | 含钼加热丝 |
| 极限温度 | 1200℃ |
| 工作温度 | ≤1100℃ |
| 升温速率 | 建议:≤10℃min |
| 加热温区 | 多温区（温度数量可按需求定制） |
| 温区总长度 | 200~440mm（尺寸可按客户需求定制） |
| 炉管材质 | 高纯石英 |
| 炉管直径 | 50~120mm（尺寸可按客户需求定制） |
| 密封方式 | 不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 其中一端用方便进出物料的快接法兰，预留进气品和出气口 |
| 控制模式 | 多段智能PID程序控温 |
| 测温元件 | N型热电偶 |
| 报警 | 有超温和断偶报警 |
| 供气系统 | |
| 气体通道 | 可同时连接多种气源 质量流量计和混气罐都安装在移动箱体内 |
| 流 量 计 | 质量流量计 |
| 真空系统 | |
| 真空泵+数显真空计 | 分子泵机组及相应连接管件 极限真空度可实现6.67*10-3pa |
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
