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18137195607
产品简介
滑道 PECVD 管式炉集成滑轨移料机构、管式加热腔体、射频等离子源、真空机组与多路精密气路系统。依托滑道结构，样品可快速移入、移出恒温温区，实现快热快冷，缩短热循环时长，规避样品长时间在高温气氛下过度反应。射频等离子体可活化前驱气体，降低沉积反应温度；搭配高精度 MFC 独立调控各路气源，稳定控制气体配比、腔压与等离子功率。管式腔体温场均匀，真空密封可靠，适配二维材料、纳米线、介质薄膜、功能涂层等制备。适用于高校、科研院所及企业研发平台开展等离子气相沉积实验与小批量试制。
性能特点
- 滑道快速移料
- 等离子低温沉积
- 多路气氛可控
- 工艺稳定性强
滑轨滑移设计，样品快速进出高温区，实现快热快冷，工艺周期短。
射频激发等离子体活化反应，降低沉积温度，适配热敏基底。
可接入多种工艺气源，一体化触屏操控界面，参数设置、流量监测、程序编辑集中管理，精准调节流量，气体配比重复性好。
温场均匀，气体输送稳定，沉积薄膜一致性佳，实验可复现性高。
技术参数
| 产品名称 | 滑道式PECVD |
| 型号 | HL-PECVD1200-S |
| 滑道管式炉部分 | |
| 炉膛模式 | 开启式 |
| 炉体滑动 | 可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热 |
| 炉膛材料 | 氧化铝耐火纤维 |
| 加热元件 | 含钼加热丝 |
| 极限温度 | 1200℃ |
| 工作温度 | ≤1100℃ |
| 升温速率 | 建议:≤10℃min |
| 加热温区 | 单/多温区（温度数量可按需求定制） |
| 温区总长度 | 200~440mm（尺寸可按客户需求定制） |
| 炉管材质 | 高纯石英 |
| 炉管直径 | 50~120mm（尺寸可按客户需求定制） |
| 密封方式 | 不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 其中一端用方便进出物料的快接法兰，预留进气品和出气口 |
| 控制模式 | 多段智能PID程序控温 |
| 测温元件 | N型热电偶 |
| 报警 | 有超温和断偶报警 |
| 供气系统 | |
| 气体通道 | 可同时连接多种气源 质量流量计和混气罐都安装在移动箱体内 |
| 流 量 计 | 浮子流量计/质量流量计，按需选择 |
| 真空系统 | |
| 真空泵+真空计 | 真空泵机组及相应连接管件 极限真空度可实现6.67*10-3pa |
| 等离子电源系统 | |
| 等离子射频 | 功率范围 0-500W（连续可调） 工作频率 13.56MHZ+0.005% |
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
